蘇州曼特萊精密電子有限公司為您介紹真空泵抽速和真空機(jī)組配置的幾個(gè)問題：
一、泵的抽速定義為在一定的吸入壓力下，單位時(shí)間通過泵口被抽除的氣體的體積。一個(gè)完正的真空系統(tǒng)，不論是為了何種應(yīng)用，都應(yīng)有一個(gè)需要抽成真空的容器或室體，一套真空機(jī)組，也可能是一臺(tái)真空泵，還有連接管道、閥門、冷阱等。而管道、閥門、冷阱等作為組成真空系統(tǒng)的部件，對(duì)氣體的流動(dòng)都有一定的阻礙作用。反過來說它們對(duì)氣體的流動(dòng)都有一定的通導(dǎo)能力，這種能力稱之為流導(dǎo)。這在氣體的流動(dòng)中是一個(gè)很重要的概念，它的定義為單位壓差下的流量。氣體的自然流動(dòng)總是從高壓流向低壓，上述任一部件，當(dāng)兩端的壓力分別為P1、P2時(shí)，而流過的氣體量為Q，則該部件流導(dǎo)
U=Q/(P1-P2)
不同的真空系統(tǒng)部件的流導(dǎo)可以通過計(jì)算、模擬、測量等方法確定，它除了與幾何形狀有關(guān)外，還與氣體的流動(dòng)狀態(tài)有關(guān)。不同部件的流導(dǎo)是可以進(jìn)行串并聯(lián)的。
根據(jù)真空基本方程，可從數(shù)學(xué)上得到兩個(gè)極端的結(jié)果，即當(dāng)流導(dǎo)U非常大時(shí)，真空室的有效抽速S0可以近似等于泵的抽速S；當(dāng)泵的抽速S非常大時(shí)，或者流導(dǎo)U非常小時(shí)，真空室的有效抽速S0近似等于流導(dǎo)U。上述結(jié)果從物理上可能更易理解，從真空室抽氣口抽除的氣體必須經(jīng)過流導(dǎo)U（即管道、閥門等）才能被真空泵抽除，只不過被抽除的氣體從真空室抽氣口向泵口運(yùn)動(dòng)過程是從高壓向低壓的流動(dòng)，而從泵口被抽除是從低壓向高壓的基于某種抽氣原理的強(qiáng)制流動(dòng)。如流導(dǎo)U非常大，即通過它的氣體量不受限制，那么泵的抽氣能力就決定于自身的抽速大小，這與泵口直接與真空室相連接是一樣的。但如果泵的抽速非常大，這也就是相對(duì)于泵的抽速流導(dǎo)U非常小，此時(shí)泵的實(shí)際抽氣能力并不決定于它的抽速大小而決定于氣體通過流導(dǎo)U的能力，流導(dǎo)的數(shù)值恰為泵的有效抽速S0。
為了盡量發(fā)揮泵的抽氣能力，*大限度的加大流導(dǎo)U是*有效的方法，但往往難于實(shí)現(xiàn)。而一味增大泵的抽速更不切實(shí)際。所以采用晝量大的流導(dǎo)和選用晝量大的抽速的泵就非常值得權(quán)衡。從真空基本方程可以知道，有效抽速S0隨S或U都是單調(diào)遞增的函數(shù)。真空基本方程描述的內(nèi)容并不深?yuàn)W，但也沒有淺顯到可以作為每個(gè)人的常識(shí)，所以在不少的應(yīng)用領(lǐng)域，用戶往往忽略流導(dǎo)對(duì)泵抽速的限制，而造成真空技術(shù)應(yīng)用的效果大受影響。
二、對(duì)于一個(gè)沒有漏氣，也沒有放氣的真空系統(tǒng)如真空室體積為V，真空室有效抽速為S0，則隨著抽氣的過程，真空室內(nèi)壓力隨時(shí)間遵從如下的變化規(guī)律
以上規(guī)律揭示，每經(jīng)過約的時(shí)間，真空室內(nèi)壓力降低一個(gè)數(shù)量級(jí)，顯然t越小，壓力下降越快，當(dāng)V一定時(shí)，有效抽速S0越大，才能越小。
然而沒有一個(gè)真空系統(tǒng)是不漏氣，不放氣的，即使真的不漏氣，放氣總是存在的，實(shí)際上（3）式反映的是泵在抽除真空室內(nèi)空間氣體的過程中壓力的變化規(guī)律。當(dāng)壓力較高時(shí)，系統(tǒng)的漏氣量和放氣量相對(duì)空間的氣體量較小時(shí)，其影響可以忽略，可以認(rèn)為近似滿足不漏氣和不放氣的條件，也就是（3）的規(guī)律能近似成立。當(dāng)壓力較低時(shí)，系統(tǒng)的漏氣量和放氣量不可忽略甚至成為主要的氣體負(fù)載時(shí)，（3）的規(guī)律就要發(fā)生偏離，表現(xiàn)在壓力下降變?yōu)榫徛话惆l(fā)生這一轉(zhuǎn)變的壓力在0.5Pa左右，因此一個(gè)真空系統(tǒng)典型的抽氣過程先是壓力下降很快，到某一壓力開始變慢。由于一個(gè)合格的真空系統(tǒng)對(duì)其漏率有嚴(yán)格的要求，所以放氣是影響系統(tǒng)壓力降低的主要因素，而放氣是一個(gè)緩慢的過程，即使采用烘烤等強(qiáng)化措施，要達(dá)到某一預(yù)定的壓力，往往要經(jīng)過很長的時(shí)間。
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