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簡單介紹
Edwards iH 干泵為高難度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品)提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級主泵,使用更新的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨設(shè)計(jì),可改善粉塵的處理,減少排氣噪音。此外,iH 系列泵配有一臺單級機(jī)械增壓泵和完全封閉的水冷卻電機(jī)。 歡迎來電垂詢愛德華IH160
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的詳細(xì)介紹
Edwards 較高半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,可以按照較高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時間并提高生產(chǎn)率,同時*大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
蘇州曼特萊精密電子有限公司專注于提供愛德華IH160
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